原材料
硅矿石Silicon,中文称之为硅或矽,化学元素符号为Si。仅次于氧,属于第2多存在于地球的元素。硅多藏在硅砂或硅石里,但天然水,树,植物等都有硅的存在。化学符号是SiO2。在自然界里,由于它与其他物质结合在一起,所以需要经过提炼出来。多晶硅
金属硅又称结晶硅或工业硅,金属硅是由硅矿石和焦炭在电热炉内冶炼成的产品,主成分硅元素的含量在98%左右,其余杂质为铁、铝、钙等。有关Si的提纯,首先要将SiO2还原,让它与氯化氢(HCl)进行化学反应而获得高純度的SiHCl3(沸 点31.8℃)。8mm大小的的細芯Si通电加热,从高純度的SiHCl3析出Si,变成棒状,就提纯了99.999999999%的Si。统称11个9。“晶锭
用高温去除氧后的高纯度多晶硅,将提炼好的高纯度多晶硅块敲小,放进由石英做成的锅炉里,加热让它熔化,然后用缆线吊起小的晶种棒,让它接触硅液的液面,一面旋转一面慢慢的往上拉,最后形成单晶硅晶锭。硅晶圆片
将晶锭切成1mm的圆片,然后再经过反复的打磨、抛光、腐蚀、清洗等工艺形成表面像镜面一样光滑的硅晶圆片,可用做半导体电子器件的衬底材料。用此硅圆片材料可做成半导体电子器件。